スパッタ 酸素欠損 雰囲気 酸素


高プロトン伝導性酸化物材料 Ba Zr Y O 系の結晶構造解析 Analysis On Crystal Structure For High Proton Conducting Material Ba Zr Y O System Spring 8 Sacla 利用研究成果集
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Wo2014061271a1 スパッタリングターゲット 酸化物半導体薄膜及びそれらの製造方法 Google Patents
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2019 178396号 スパッタリングターゲット Astamuse
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